全球領(lǐng)先的移動(dòng)機(jī)器人解決方案提供商優(yōu)艾智合(YOUIBOT)近日宣布，其專為半導(dǎo)體行業(yè)打造的基于 AMHS(Automated Material Handling System，自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng))的潔凈室自動(dòng)化物流解決方案，已在全球?qū)崿F(xiàn)規(guī)?；渴?，服務(wù)客戶超 300 家，其中不乏臺(tái)積電、中芯國(guó)際、華天科技等全球半導(dǎo)體龍頭企業(yè)。此方案覆蓋從襯底制備、外延生長(zhǎng)、晶圓制造到封裝測(cè)試的全產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)，成為推動(dòng)半導(dǎo)體智能制造發(fā)展的關(guān)鍵力量。

半導(dǎo)體制造作為科技產(chǎn)業(yè)核心，生產(chǎn)過(guò)程對(duì)潔凈度、精度和穩(wěn)定性有著嚴(yán)苛要求。傳統(tǒng)人工物料搬運(yùn)方式效率低，且易引入污染與誤差。優(yōu)艾智合憑借自主研發(fā)的高精度 SLAM 導(dǎo)航技術(shù)與復(fù)合機(jī)器人系統(tǒng)，借助 AMHS 成功攻克半導(dǎo)體制造中的物流自動(dòng)化難題。其 AMR(自主移動(dòng)機(jī)器人)產(chǎn)品可在 Class 1 超凈環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行，振動(dòng)值嚴(yán)格控制在 0.1g 以下，滿足晶圓級(jí)微震動(dòng)抑制要求，同時(shí)通過(guò) CE 和 SEMI S2 國(guó)際認(rèn)證，操作精度可達(dá) ±1mm 。

優(yōu)艾智合基于 AMHS 的解決方案，不僅硬件性能卓越，還搭載自主研發(fā)的 Fleet 調(diào)度系統(tǒng)。該系統(tǒng)支持多機(jī)型、多場(chǎng)景協(xié)同作業(yè)，可同時(shí)調(diào)度 1000 臺(tái)以上機(jī)器人，實(shí)現(xiàn)高效路徑規(guī)劃與動(dòng)態(tài)任務(wù)分配。另外，系統(tǒng)支持可視化編程和地圖編輯功能，能依據(jù)生產(chǎn)需求快速調(diào)整物流路線，支持地圖擴(kuò)建、補(bǔ)建和局部重建，極大提升了生產(chǎn)線的靈活性與可擴(kuò)展性。

在實(shí)際應(yīng)用中，優(yōu)艾智合的 AMR 系統(tǒng)已成功進(jìn)駐多家全球知名半導(dǎo)體企業(yè)生產(chǎn)線。比如在某國(guó)際頭部晶圓廠的 8 寸晶圓車間，優(yōu)艾智合利用 50 + 臺(tái) OW8 晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人，借助 AMHS 實(shí)現(xiàn)了 SMIF POD 在光刻機(jī)、蝕刻機(jī)、CMP 等設(shè)備間的自主流轉(zhuǎn)，取代傳統(tǒng)人工搬運(yùn)方式。該項(xiàng)目大幅降低人力成本，顯著提升物料處理效率，為工廠 7×24 小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)提供可靠保障。

優(yōu)艾智合創(chuàng)始人表示：“半導(dǎo)體行業(yè)正處于智能化升級(jí)的關(guān)鍵機(jī)遇期，我們致力于通過(guò)創(chuàng)新的機(jī)器人技術(shù)和智能物流解決方案，助力客戶實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、柔性、高效的生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)。未來(lái)，我們也將持續(xù)深耕半導(dǎo)體領(lǐng)域，加速全球半導(dǎo)體制造的智能化轉(zhuǎn)型進(jìn)程?！?/p>