前言

隨著信息技術(shù)的高速發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)日益成為全球最重要的產(chǎn)業(yè)之一。目前，半導(dǎo)體設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化需求急劇上升，得益于半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展和國(guó)家政策的支持。在此大背景下，安川電機(jī)深入對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備和工藝的研究，致力于為客戶(hù)提供優(yōu)質(zhì)的解決方案。

   半導(dǎo)體制造工藝

半導(dǎo)體工藝流程圖

清洗工藝

清洗工藝貫穿于晶圓制造的整個(gè)過(guò)程，是保證良品率的關(guān)鍵之一。清洗工藝的好壞不僅影響表面的潔凈度，還會(huì)對(duì)芯片的電學(xué)性能、穩(wěn)定性等產(chǎn)生直接影響。

   解決方案—中空電機(jī)

安川電機(jī)針對(duì)清洗工藝提出了全新的中空電機(jī)方案。

傳統(tǒng)伺服電機(jī)結(jié)構(gòu) VS 中空伺服電機(jī)結(jié)構(gòu)

方案優(yōu)勢(shì)

1：空間優(yōu)化
以往的結(jié)構(gòu)是伺服通過(guò)皮帶輪裝置連接中空軸，結(jié)構(gòu)相對(duì)復(fù)雜，占據(jù)空間。通過(guò)采用中空伺服電機(jī)，可簡(jiǎn)化機(jī)械結(jié)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間的目的。
2：粉塵減少
中空部的轉(zhuǎn)動(dòng)軸采用不銹鋼，并選用低發(fā)塵規(guī)格的特殊潤(rùn)滑脂，有效地減少了粉塵的發(fā)生。
3：高速高精度
搭載了24bit高分辨率編碼器，其中SGM7T-08A最大速度可達(dá)3000min-1。

機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)

    中空電機(jī)規(guī)格