e公司訊，華泰證券研報指出，MEMS基于微細加工技術(shù)和半導(dǎo)體工藝，將微傳感器、微執(zhí)行器和電子線路、微能源相結(jié)合，可實現(xiàn)微觀尺度的傳感和控制。其常用材料為硅基材料，在特殊應(yīng)用場景下會采用聚合物基材料。MEMS產(chǎn)品的優(yōu)點包括微型高效、功能集成化、可批量生產(chǎn)等，缺點是新產(chǎn)品研發(fā)流程長、封裝難度高。目前MEMS已廣泛應(yīng)用于消費電子、汽車工業(yè)、生物醫(yī)療等領(lǐng)域，在人形機器人領(lǐng)域中，MEMS麥克風(fēng)、IMU和陣列式觸覺傳感器已獲得應(yīng)用。我們認為，人形機器人對微型化、集成化和輕量化要求較高，與MEMS工藝的特點相契合，未來MEMS在人形機器人中的應(yīng)用將進一步拓寬。