Lam Research 泛林集團近日對其打造的世界首款專為半導(dǎo)體制造設(shè)備維護打造的協(xié)作機器人（IT之家注：Collaborative Robot）Dextro 進行了介紹，并表示該型機器人已獲全球多家先進晶圓廠應(yīng)用。
Dextro 協(xié)作機器人是一種位于推車上的可移動機械臂裝置，由制造技術(shù)人員或工程師進行控制，借助各種“手部工具”能很好地完成三項關(guān)鍵設(shè)備維護任務(wù)：
在安裝和壓縮易損件時精度是人手的 2 倍；
精確擰緊高精度真空密封螺栓，人類員工用手完成這一重復(fù)性任務(wù)時錯誤率高達 5%；
無需拆卸下腔室即可自動化去除腔室側(cè)壁上的任何聚合物堆積，以往人類需要配備重型呼吸防護設(shè)備才能執(zhí)行此類任務(wù)。
這意味著 Dextro 可幫助晶圓廠工程師分擔(dān)通常耗時、容易出錯或危險的維護任務(wù)，提升工藝整體精確度，減少勞動力需求、降低浪費、縮短停機，從而最終提高晶圓廠產(chǎn)量。
泛林表示單個 Dextro 協(xié)作機器人能為 50 到 100 個泛林工具腔室提供服務(wù)，目前已可用于旗下 Flex G / H 系列介電刻蝕工具的支持工作，自 2025 年開始將擴展至其它工具和應(yīng)用。
三星電子副總裁兼內(nèi)存蝕刻技術(shù)團隊負責(zé)人 Kim Young Ju 表示：
當制造設(shè)備需要維護時，必須快速高效地完成工作，以避免延長工具停機時間和浪費成本。
Dextro 的無差錯維護有助于推動生產(chǎn)在可變性和產(chǎn)量上的改進。這是三星邁向自主工廠的一個激動人心的里程碑。
