翻轉(zhuǎn)過來時(shí)以氣流吸附
可利用工具一側(cè)的超聲波振動(dòng)使工具上方和晶圓下方的空氣薄膜的壓力增大。其原理與空氣軸承相似，但該產(chǎn)品無需以壓縮機(jī)等從外部供應(yīng)高壓空氣。工具和晶圓的距離約在0.05mm～0.5mm之間。
工具翻轉(zhuǎn)時(shí)，不是用超聲波而是用氣泵吸附晶圓。據(jù)介紹，此時(shí)晶圓和工具之間也不接觸，常態(tài)下使周圍空氣流動(dòng)即可形成空氣薄膜。
日期：2013-08-05
作者：linda
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