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激光線性掃描鏡頭F-Theta或K-Theta物鏡

   日期:2021-10-29     來源:13202262841    作者:徐國鳴     評論:0    

激光掃描系統(tǒng)是一種將時間信息轉(zhuǎn)變?yōu)榭捎涗浛諉栃畔⒌南到y(tǒng)。它使某種信息通過光調(diào)制器對激光束調(diào)制后,經(jīng)光束掃描器和F-Theta激光聚焦鏡頭再接收形成一維或二維掃描圖像。它已被廣泛用于標刻機、跟蹤瞄準、激光打印機、、集成路激光圖形發(fā)生器等激光掃描精密設備中。

激光打標是激光技術的一個重要的應用領域,它與傳統(tǒng)的刻蝕、機刻等打標方式相比,有許多優(yōu)點,如無污染、分辨率高、非接觸及標記保持等。激光束到達工件表面的瞬間,光能轉(zhuǎn)換為熱能,使工件表面材料熔融甚至汽化,從而標刻出相應的圖案或標記。

激光打標機的工作原理如圖1所示,激光器發(fā)出的高能量激光束依次經(jīng)過動方向互相垂直的X和Y掃描振鏡,入射到F-Theta物鏡,由F-Theta后到達工件表面。通過轉(zhuǎn)動X和Y掃描振鏡,可以控制激光束在工件表面的X和Y兩個方向上任意移動,實現(xiàn)矢量打標。振鏡式激光打標具有響應速度快、打標速度快、打標質(zhì)量高等許多優(yōu)點。

圖1激光打標機工作原理圖

與普通成像物鏡不同,F(xiàn)-Theta鏡頭的像高與視場角成正比。如圖2所示鏡頭的視場角、焦距和像高滿足下式所示的關系:

式中θ、f、y分別表示F-Theta鏡頭的視場角、焦距和像高。表示當F-Theta焦距一定時,像高y與視場角θ成正比,滿足線性關系。

圖2.F-Theta鏡頭原理圖

為滿足式(1-1)的線性掃描關系,同時校正F-Theta鏡頭的像差,往往需要多個透鏡合理布局;激光在透鏡表面的后反射點(圖3-圖6)能量高度集中,隨著工業(yè)使用中激光功率的不斷提升,如果后反射點聚焦在XY振鏡片上,會燒蝕振鏡片的反射膜層,造成系統(tǒng)透過率的大幅降低;如果后反射點聚焦在掃描鏡內(nèi)部鏡片上(圖6),造成明顯的熱透鏡效應,該透鏡折射率隨著能量的積聚發(fā)生變化,直接改變掃描鏡的工作距離,反映為標記光斑變大、標記顏色變淺甚至無法標記。

圖3 后反射點示意1

圖4后反射點示意2

圖5后反射點示意3

圖6后反射點示意4

綜上在設計F-theta平場掃描鏡時要仔細排查每個鏡片表面的后反射點,通過改變鏡片的曲率半徑盡量消除后反射點的不利影響。

激光打標機場鏡是一種線性掃描鏡頭,與傳統(tǒng)成像物鏡相比,后者具有衍射受限、物高與視場角成正比的特點,便于計算機圖像點陣的線性掃描處理。激光線性掃描鏡頭也稱之為F-Theta或K-Theta物鏡,除了激光打標之外,該鏡頭也廣泛用于光學檢測、計算機掃描成像、三維打印等領域,近二十年來伴隨信息技術、應用軟件和設計軟件技術的成熟應用,發(fā)展十分迅速。

目前中國已開始深度步入工程師紅利時期,掃描成像技術的相關配套技術模塊(掃描振鏡、激光器、高速光調(diào)制器及新材料)已基本完善,該相關技術以往具有典型的高技術所有特征,但有開始朝中端、中低端產(chǎn)業(yè)擴散的趨勢明顯。

考慮到國內(nèi)外產(chǎn)業(yè)格局的現(xiàn)狀,考慮快速進入該領域應是一次機會,值得投入精力嘗試。


2.行動路線

首先從近年來最基本、應用泛的2款標準鏡頭入手。雖然該類型系列鏡頭應用廣泛、且市場基本處于相對飽和狀態(tài),但技術風險小,容易尋找新起的整機中小企業(yè),面對的競爭對手是早期進入該領域的中型部件提供科技企業(yè)(他們的創(chuàng)新及可持續(xù)發(fā)展優(yōu)勢正在被工程師紅利時代扁平化)。

其次做好向大功率或工作波長包括紫外、綠光以及中遠紅外場鏡發(fā)展,積極發(fā)展與新興科技企業(yè)的配套業(yè)務,發(fā)展高精度光敏樹脂3D打印配套鏡頭產(chǎn)品。

第三,適當時機介入某些類型的整機業(yè)務。

第一步可能面臨性價比的激烈競爭,但我們還是有自己的優(yōu)勢,并有信心獲得經(jīng)濟效益;第二步是期望階段獲得好的經(jīng)濟和社會效益;第三部涉及跨越式發(fā)展,關鍵是尋求新技術和新應用。


3.產(chǎn)品計劃

a)激光功率<30W,波長1064nm,常用焦距)

b)激光功率<20W,波長355nm或525nm,

c)中功率(100W)

d)大功率,波長8-12um

e)成型打印鏡頭

f)掃描測量鏡頭

g)其他

 


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