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激光打印機(jī)、集成路激光圖形發(fā)生器等激光掃描精密設(shè)備中

   日期:2020-12-03     來(lái)源:13202262841    作者:Kennethchui     評(píng)論:0    

激光掃描系統(tǒng)是一種將時(shí)間信息轉(zhuǎn)變?yōu)榭捎涗浛諉栃畔⒌南到y(tǒng)。它使某種信息通過光調(diào)制器對(duì)激光束調(diào)制后,經(jīng)光束掃描器和F-Theta激光聚焦鏡頭再接收形成一維或二維掃描圖像。它已被廣泛用于標(biāo)刻機(jī)、跟蹤瞄準(zhǔn)、激光打印機(jī)、、集成路激光圖形發(fā)生器等激光掃描精密設(shè)備中。

激光打標(biāo)是激光技術(shù)的一個(gè)重要的應(yīng)用領(lǐng)域,它與傳統(tǒng)的刻蝕、機(jī)刻等打標(biāo)方式相比,有許多優(yōu)點(diǎn),如無(wú)污染、分辨率高、非接觸及標(biāo)記保持等。激光束到達(dá)工件表面的瞬間,光能轉(zhuǎn)換為熱能,使工件表面材料熔融甚至汽化,從而標(biāo)刻出相應(yīng)的圖案或標(biāo)記。

激光打標(biāo)機(jī)的工作原理如圖1所示,激光器發(fā)出的高能量激光束依次經(jīng)過動(dòng)方向互相垂直的X和Y掃描振鏡,入射到F-Theta物鏡,由F-Theta后到達(dá)工件表面。通過轉(zhuǎn)動(dòng)X和Y掃描振鏡,可以控制激光束在工件表面的X和Y兩個(gè)方向上任意移動(dòng),實(shí)現(xiàn)矢量打標(biāo)。振鏡式激光打標(biāo)具有響應(yīng)速度快、打標(biāo)速度快、打標(biāo)質(zhì)量高等許多優(yōu)點(diǎn)。

圖1激光打標(biāo)機(jī)工作原理圖

與普通成像物鏡不同,F(xiàn)-Theta鏡頭的像高與視場(chǎng)角成正比。如圖2所示鏡頭的視場(chǎng)角、焦距和像高滿足下式所示的關(guān)系:

式中θ、f、y分別表示F-Theta鏡頭的視場(chǎng)角、焦距和像高。表示當(dāng)F-Theta焦距一定時(shí),像高y與視場(chǎng)角θ成正比,滿足線性關(guān)系。

圖2.F-Theta鏡頭原理圖

為滿足式(1-1)的線性掃描關(guān)系,同時(shí)校正F-Theta鏡頭的像差,往往需要多個(gè)透鏡合理布局;激光在透鏡表面的后反射點(diǎn)(圖3-圖6)能量高度集中,隨著工業(yè)使用中激光功率的不斷提升,如果后反射點(diǎn)聚焦在XY振鏡片上,會(huì)燒蝕振鏡片的反射膜層,造成系統(tǒng)透過率的大幅降低;如果后反射點(diǎn)聚焦在掃描鏡內(nèi)部鏡片上(圖6),造成明顯的熱透鏡效應(yīng),該透鏡折射率隨著能量的積聚發(fā)生變化,直接改變掃描鏡的工作距離,反映為標(biāo)記光斑變大、標(biāo)記顏色變淺甚至無(wú)法標(biāo)記。

圖3 后反射點(diǎn)示意1

圖4后反射點(diǎn)示意2

圖5后反射點(diǎn)示意3

圖6后反射點(diǎn)示意4

綜上在設(shè)計(jì)F-theta平場(chǎng)掃描鏡時(shí)要仔細(xì)排查每個(gè)鏡片表面的后反射點(diǎn),通過改變鏡片的曲率半徑盡量消除后反射點(diǎn)的不利影響。

激光打標(biāo)機(jī)場(chǎng)鏡是一種線性掃描鏡頭,與傳統(tǒng)成像物鏡相比,后者具有衍射受限、物高與視場(chǎng)角成正比的特點(diǎn),便于計(jì)算機(jī)圖像點(diǎn)陣的線性掃描處理。激光線性掃描鏡頭也稱之為F-Theta或K-Theta物鏡,除了激光打標(biāo)之外,該鏡頭也廣泛用于光學(xué)檢測(cè)、計(jì)算機(jī)掃描成像、三維打印等領(lǐng)域,近二十年來(lái)伴隨信息技術(shù)、應(yīng)用軟件和設(shè)計(jì)軟件技術(shù)的成熟應(yīng)用,發(fā)展十分迅速。

目前中國(guó)已開始深度步入工程師紅利時(shí)期,掃描成像技術(shù)的相關(guān)配套技術(shù)模塊(掃描振鏡、激光器、高速光調(diào)制器及新材料)已基本完善,該相關(guān)技術(shù)以往具有典型的高技術(shù)所有特征,但有開始朝中端、中低端產(chǎn)業(yè)擴(kuò)散的趨勢(shì)明顯。

考慮到國(guó)內(nèi)外產(chǎn)業(yè)格局的現(xiàn)狀,考慮快速進(jìn)入該領(lǐng)域應(yīng)是一次機(jī)會(huì),值得投入精力嘗試。


2.行動(dòng)路線

首先從近年來(lái)最基本、應(yīng)用泛的2款標(biāo)準(zhǔn)鏡頭入手。雖然該類型系列鏡頭應(yīng)用廣泛、且市場(chǎng)基本處于相對(duì)飽和狀態(tài),但技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)小,容易尋找新起的整機(jī)中小企業(yè),面對(duì)的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手是早期進(jìn)入該領(lǐng)域的中型部件提供科技企業(yè)(他們的創(chuàng)新及可持續(xù)發(fā)展優(yōu)勢(shì)正在被工程師紅利時(shí)代扁平化)。

其次做好向大功率或工作波長(zhǎng)包括紫外、綠光以及中遠(yuǎn)紅外場(chǎng)鏡發(fā)展,積極發(fā)展與新興科技企業(yè)的配套業(yè)務(wù),發(fā)展高精度光敏樹脂3D打印配套鏡頭產(chǎn)品。

第三,適當(dāng)時(shí)機(jī)介入某些類型的整機(jī)業(yè)務(wù)。

第一步可能面臨性價(jià)比的激烈競(jìng)爭(zhēng),但我們還是有自己的優(yōu)勢(shì),并有信心獲得經(jīng)濟(jì)效益;第二步是期望階段獲得好的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益;第三部涉及跨越式發(fā)展,關(guān)鍵是尋求新技術(shù)和新應(yīng)用。


3.產(chǎn)品計(jì)劃

a)激光功率<30W,波長(zhǎng)1064nm,常用焦距)

b)激光功率<20W,波長(zhǎng)355nm或525nm,

c)中功率(100W)

d)大功率,波長(zhǎng)8-12um

e)成型打印鏡頭

f)掃描測(cè)量鏡頭

g)其他

 


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