表面粗糙度是表面微觀幾何特征，是構(gòu)成物體的表面原始形貌特征因素之一。表面二維形貌特征的分析與評定通常是對粗糙度參數(shù)進(jìn)行的評定，通常把小于lmm波距的形貌特征歸結(jié)為表面粗糙度，而波距在1 ~10mm之間的定義為表面波紋度，大于10mm的則屬于目測可知的宏觀幾何形狀特征。
表面粗糙度不僅影響零件的耐磨性、穩(wěn)定性、抗腐蝕性，對零件的外觀、測量精度、表面光學(xué)性能、導(dǎo)電導(dǎo)熱性能和膠合強(qiáng)度等也有著不同程度的影響。此外，表面粗糙度對零件的測量精度、外觀、鍍涂層、導(dǎo)熱性和接觸電阻、反射能力和輻射性能、液體和氣體流動的阻力、導(dǎo)體表面電流的流通等都會有不同程度的影響。
中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1
光學(xué)式表面粗糙度輪廓儀，是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
產(chǎn)品參數(shù)
技術(shù)指標(biāo)
測量表面粗糙度步驟：
1、將樣品放在置物臺鏡頭下方；
2、檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲，確認(rèn)儀器狀態(tài)；
3、使用操縱桿調(diào)節(jié)Z軸，找到樣品表面干涉條紋；
4、完成掃描設(shè)置和命名等操作，點(diǎn)擊開始測量；
5、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理模塊，點(diǎn)擊校平，平面樣品采用默認(rèn)校平，點(diǎn)擊右下角應(yīng)用保存操作；
6、進(jìn)入分析工具模塊，點(diǎn)擊參數(shù)分析，直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù)，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)、增刪參數(shù)類型；
7、如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù)，則需提取剖面線；
8、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊提取剖面圖標(biāo)，選擇斜線，沿垂直于紋理方向提取剖面線；
9、進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊參數(shù)分析圖標(biāo)，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù)，即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。
針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度、大掃描范圍的需求，中圖儀器光學(xué)式表面粗糙度輪廓儀的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。
