全新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測系統(tǒng)開和發(fā)而來，采用了VMM 公司好的設(shè)計和技術(shù)。
, 新款Precis 包含了很多可配置選項，使設(shè)備更加通用，耐某用以及可和靠。
- 擴展了Z軸范圍 – 2.5mm, 5mm or 100mm
- 透射照明
- 完整電子繪圖 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 標準
- 符合人和體工程學的操作員控制臺 ，帶有隱藏鍵盤托盤, 可調(diào)節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器, SEMI S8 符合
- 全自動顯微鏡，所有設(shè)置計算機控制
- 好的分辨率像素攝像頭
- VIEW Metrology Software (VMS™) 可測組件很廣泛, 可選CAD導入 以及完整的幾何尺寸和公差導入。
- MMWin – 晶圓片 和Mask計量軟件 –晶圓片的重要尺寸和迭置重合測量, 滑塊 ABS,光掩模和平板顯示器.
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- 標準 可選
- X,Y,Z行程(mm): 200 x 200 x 50 200 x 200 x 100
- 載重: 12 kg
- XY精度: E1=(0.25+2L/1000)um
- Z 精度: E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)
- 分辨率： 0.01 微米
- 視場測量精度和重復性：0.01 μm (100x)
- 直流伺服馬達驅(qū)動
