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公司基本資料信息
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MicroLine-300是一款桌上型半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng)。
主要技術(shù)參數(shù)：
◆??? 測(cè)量范圍(XYZ)：標(biāo)準(zhǔn)：200×200×25mm；可選：300x300x25
◆??? 視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量精度：10nm(100X 鏡頭)；Z軸聚焦范圍：25 mm
◆????視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量范圍：0.5um~400um；
◆??? 視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量重復(fù)性(100x 物鏡)：? 晶圓上<0.010um(1δ)；
????????????????????????????????????????????????????掩模板上0.005um(1δ)；???
◆??? 最大承重：2kg
◆??? 標(biāo)配鏡頭10x，可選鏡頭：5X, 20X, 50X, 100X?
MicroLine?系列 主要用于測(cè)量半導(dǎo)體、MEMS 晶圓、光刻掩模板等尺寸和涂覆物(多層套刻、圓、對(duì)接誤差等)量測(cè)。
MicroLine 臨界尺寸測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)用于半導(dǎo)體和MEMS晶圓以及光掩模CD量測(cè)。Microline 系列可自動(dòng)測(cè)量線(xiàn)寬，迭置重合，和其他關(guān)鍵尺寸。
MicroLine 裝備有高性能光學(xué)顯微鏡，高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可測(cè)量0.5 微米到400 微米大小的產(chǎn)品，測(cè)量精度和重復(fù)性在10nm （1 ?σ ，100倍物鏡）。
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