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EFEM設(shè)備

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公司基本資料信息

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詳細(xì)說明

擁有多款 Line-up EFEM
可搭載 1Port ~ 6Port LPM
可根據(jù)客戶需求量身定制
可使用 FFU 差壓聯(lián)動 Mode
符合 SEMI Standard
EFEM是半導(dǎo)體制造工藝中Wafer處理設(shè)備的前端模塊，負(fù)責(zé)Wafer的移動、上/下料、排序等工作，協(xié)助半導(dǎo)體制造工藝間的Wafer處理實(shí)現(xiàn)高效與穩(wěn)定。

更多>本企業(yè)其它產(chǎn)品

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