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LMP

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品牌: ROBOSTAR
型號: LPM
單價: 10000.00元/臺
起訂: 1 臺
供貨總量: 1 臺
發(fā)貨期限: 自買家付款之日起 90 天內發(fā)貨
所在地: 上海
有效期至: 長期有效
最后更新: 2024-09-06 15:34
瀏覽次數: 5112
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詳細說明
  
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  • 半導體工藝內 300mm FOUP 的 Load/Unload/Mapping 功能
  • RFID、 E84 通信
  • 易于維修/保養(yǎng)
    • LPM是在半導體制造及處理過程中,讓Wafer實現安全Loading/Unloading的裝置。在主工藝設備與Wafer之間起到連接管理的作用,不僅能有效提高產能,還能最大限度地減少錯誤。

 
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