混合氣體質(zhì)量流量控制器：目前國內(nèi)使用最為廣泛的是熱式氣體質(zhì)量流量控制器即MFC，熱式氣體質(zhì)量流量控制器的主要原理是：在直徑較細(xì)的感應(yīng)管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當(dāng)流體流動時，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來測定流量。    熱式流量計(jì)傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。