智能稀釋配氣儀SSGM：配氣儀的實(shí)驗(yàn)通常運(yùn)行48小時(shí)，自動(dòng)化和智能化就很重要，當(dāng)出現(xiàn)錯(cuò)誤時(shí)，如設(shè)定值和實(shí)際值之間出現(xiàn)嚴(yán)重偏差，必須采取措施，智能稀釋配氣儀的優(yōu)勢(shì)是在發(fā)生故障或緊急情況時(shí)，能自動(dòng)調(diào)節(jié)或遠(yuǎn)程調(diào)節(jié)，無(wú)需人為干預(yù)。作為確保實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，因此，測(cè)試結(jié)果的重復(fù)性以及質(zhì)量流量控制器的重復(fù)性非常重要。
如今的智能稀釋配氣儀已經(jīng)廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)，如：氣體成分制造、CVD和PVD、光學(xué)玻璃鍍膜、真空技術(shù)和太陽(yáng)能元器件制造及半導(dǎo)體加工工藝等。不同于市場(chǎng)上的許多其他智能稀釋配氣儀，SSGM系列的產(chǎn)品采用先進(jìn)的數(shù)字技術(shù)，提供總線接口選項(xiàng)和附加功能如累計(jì)和報(bào)警，按照用戶需求，在出廠時(shí)調(diào)整并保持精度規(guī)格，從而提高稀釋儀的準(zhǔn)確度，減少不同范圍稀釋儀的庫(kù)存，降低采購(gòu)成本。
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