兩面觀察測量顯微鏡
品牌:日本UNIOn
型號:DCM-40/60
DCM-40/60是一款設(shè)計獨(dú)特的顯微鏡,可分別或同時觀察物體的表面和底面圖像,并對兩圖像進(jìn)行比較,還可以通過測量裝置測量兩圖像(表面和底面)的偏差。
可選的物鏡有五種,放大倍率從50X~100X。測量精度可達(dá)1μm。
DCM-40/60主要應(yīng)用于微電子行業(yè),特別是在半導(dǎo)體行業(yè)。產(chǎn)品上下面尺寸有偏移時就可以直接對比測量,減少其它間接測量方式的誤差且不會損壞產(chǎn)品。例如:晶圓劃片基準(zhǔn)印字偏移,柔性線路板線路間距,陶瓷電容片切割對位和IC框架邊緣質(zhì)量等應(yīng)用。
規(guī)格:
型號 |
DCM-40 |
DCM-60 |
物鏡 |
5X, 10X, 20X ,40X, 100X |
5X, 10X, 20X ,40X, 100X |
工作臺 |
50x50mm ~100x100mm |
150x150mm |
光源 |
150W鹵素?zé)?套 |
150W鹵素?zé)?套 |
工件厚度 |
20mm |
30mm |
選配件 |
照相系統(tǒng)、TV系統(tǒng) |
測量步驟:
1.將"光路選擇開關(guān)"旋轉(zhuǎn)到"Top& Bottom"位置,調(diào)整上、下物體的光軸至重合。
2.將工件置于工作臺上。旋轉(zhuǎn)"光路選擇開關(guān)"到"Top" 位置,對焦上表面. .
3.旋轉(zhuǎn)“光路選擇開關(guān)"到"Bottom” 位置, 對焦下表面。.
4.將“光路選擇開關(guān)"旋轉(zhuǎn)到"Top &Bottom"位置,測量兩圖像的位置偏差。