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晶圓盒存儲(chǔ)柜 Stocker

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晶圓盒存儲(chǔ)柜 Stocker主要用于潔凈室內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)工序及工序之間晶圓盒的存儲(chǔ)，根據(jù)無塵室可利用空間，靈活定制各類型STK，實(shí)現(xiàn)空間的極大化。根據(jù)客戶需求，可支持帶凈化功能。

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