最大速度「噪音」(dB)：80 or less

真空度(Pa)：1.33×10-2；

最大速度「Z 軸」(㎜/s)：300；

自由度：5-AXIS(all AC-servo controlled)；

最大速度「重復(fù)精度」(㎜)：+/-0.2；

動(dòng)作范圍「RR/RL 軸」(㎜)：2400；

動(dòng)作范圍「Z 軸」(㎜)：250/450；

可動(dòng)范圍「θ軸」(deg)：+140～-185；

最大速度「RR/RL軸」(㎜/sec）：3370；

最大速度「θ軸」(rads/s)：2.09；

最大速度「基板尺寸」(㎜)：～1100×1300 t=3.1～5.2/～1300×1500 t=0.5～1.1/～1500×925 t=0.5～1.1

?控制器小型輕量化；

?使用了陶瓷手臂來(lái)應(yīng)對(duì)高溫環(huán)境；

?足以應(yīng)對(duì)從常溫到高溫的變化；

?卓越的降溫系統(tǒng)、使其能應(yīng)對(duì)高溫環(huán)境；

?驅(qū)動(dòng)單元模塊化、易于維護(hù)；

?ARM驅(qū)動(dòng)部使用了高精度部件和電能回饋結(jié)構(gòu)；

?多達(dá)3段的Z軸使高度可動(dòng)范圍增大；

?R部和機(jī)器人本體的分割設(shè)計(jì)、使其易于保養(yǎng)也易于進(jìn)入腔體。

三協(xié)真空雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人SR8652參數(shù)：

真空度：1.33×10-2；

最大速度「基板尺寸」(㎜)：～1500×1850 t=0.5～1.1(LCD)

自由度：5-AXIS(all AC-servo controlled)；

動(dòng)作范圍「RR/RL 軸」(㎜)：2720；

動(dòng)作范圍「Z 軸」(㎜)：465(Solar)/670(LCD)；

最大速度「Z 軸」(㎜/s)：400；

最大速度「θ軸」(rads/s)：2.09；

最大速度「重復(fù)精度」(㎜)：+/-0.2；

最大速度「RR/RL 軸」(㎜/sec)：2474；

最大速度「噪音」(dB)：80 or less；

動(dòng)作范圍「θ軸」(deg)：+140～-185；

最大速度「基板尺寸」(㎜)：1100×1300 t=4～5(Solar)；

廣州市廣科智能技術(shù)有限公司擁有大量二手SANKYO三協(xié)真空雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，如：三協(xié)真空機(jī)器人SR8651、三協(xié)真空機(jī)器人SR8652……歡迎全國(guó)各地理工機(jī)電學(xué)院、工廠采購(gòu)、工業(yè)機(jī)器人培訓(xùn)機(jī)構(gòu)來(lái)電咨詢，價(jià)格優(yōu)惠。
 

真空機(jī)器人是一種能夠在真空環(huán)境下工作的機(jī)器人，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體和液晶工業(yè)中，實(shí)現(xiàn)晶圓或玻璃基板在真空腔室內(nèi)的運(yùn)輸，是負(fù)責(zé)真空端不同工位間晶圓傳送的關(guān)鍵自動(dòng)化設(shè)備。真空搬運(yùn)機(jī)器人由于不使用氣體真空吸附系統(tǒng)和氣缸等，因此搬運(yùn)時(shí)保持晶圓在機(jī)器手上的穩(wěn)定比較困難。因此，此前只能以150～200枚/時(shí)的速度搬運(yùn)晶圓。此次，通過(guò)改進(jìn)保持晶圓穩(wěn)定的真空內(nèi)的夾具，即使高速搬運(yùn)，機(jī)器手上的晶圓也不會(huì)錯(cuò)位。這樣，可最大限度發(fā)揮真空機(jī)器人的搬運(yùn)速度。三協(xié)真空機(jī)器人可以在10^-7 pa的真空環(huán)境下運(yùn)行。耐溫達(dá)200工。此系列真空機(jī)器人大部分組件采用不銹鋼或熱膨脹系數(shù)相當(dāng)?shù)牟⑶页鰵饴实椎牟牧?。三協(xié)真空雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人由輕結(jié)構(gòu)鋼管構(gòu)件、真空吸盤(pán)、真空器、電磁控制閥、真空開(kāi)關(guān)等零部件組成，因此運(yùn)動(dòng)控制離合器、連接件和橫拉桿等部件的重量都減輕了不少，這也進(jìn)一步地提高了三協(xié)真空機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)性能。