小型等離子清洗機（電漿清洗機）

1.主要用于實驗、科研、醫(yī)學(xué)及小規(guī)模的生產(chǎn)領(lǐng)域。

2.特點：成本低，整機機械、電氣結(jié)構(gòu)簡單、實用，易維護。

3.控制方式：手動或自動控制模式,一鍵完成整個清洗工藝。

4.電源功率、清洗時間、氣體流量、凈化真空度等參數(shù)可設(shè)置。

5.射頻電源手動匹配（自主研發(fā)的全固態(tài)晶體管輸出型）

6.浮子精密氣體流量計、針閥等控制工藝氣體流量。

7.清洗完成有提示音。

8.反射功率過大報警。

9.工藝氣體耗盡報警。

10.泵熱過載報警。

11.反應(yīng)倉泄漏報警。

12.電極采用高通量等離子結(jié)構(gòu)，牢固可靠易拆卸。

13.反應(yīng)倉位矩形不銹鋼腔體，水平電極板放置，間距可調(diào)。

14.真空泵采用雙腔式旋片泵，極限真空度可達2Pa以下，一般采用外置。

15.真空泵可選配液位低報警裝置。