特點(diǎn)：

SV-3100系列產(chǎn)品可進(jìn)行高精度、高水平分析，多功能3D表面粗糙度分析，微細(xì)輪廓測(cè)量，以及原有的表面粗糙度測(cè)量。
•自動(dòng)調(diào)水平工作臺(tái)、3軸調(diào)整臺(tái)等外部設(shè)備的應(yīng)用，有效增強(qiáng)了該產(chǎn)品的操作性能，同時(shí)也真正實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)測(cè)量。
•安裝了專業(yè)資料分析軟件SURFPAK-SV使用這一軟件，可對(duì)從車間和實(shí)驗(yàn)室中得到的資料進(jìn)行統(tǒng)一格式的管理。
•采用陶瓷制作的X軸驅(qū)動(dòng)部導(dǎo)軌，因?yàn)樘沾删哂袠O好的防磨損性能。無(wú)需潤(rùn)滑油也能正常工作。
•為了保證高精度測(cè)量，在X軸和Y軸(選件)上都內(nèi)置了高清晰度的玻璃尺(X軸分辨率：0.05µm, Y軸分辨率：1µm)因?yàn)橐ＷCSV-3100系列產(chǎn)品具有高度的可靠性，特別是對(duì)于水平粗糙度參數(shù)(S, Sm), X軸的分辨率就必須達(dá)到相當(dāng)?shù)乃健?br data-filtered="filtered" style="margin: 0px; padding: 0px; line-height: 23.24px;" /> •配有高精度測(cè)針。
•配有多種功能，如“直線度補(bǔ)償功能”，可確保X軸的線性精度；“圓度補(bǔ)償功能”，可保證測(cè)針的垂直移動(dòng)；以及“針尖半徑補(bǔ)償功能”等。
•測(cè)針和測(cè)針導(dǎo)頭都可輕松替換。可選測(cè)針和滑軌可適應(yīng)各種粗糙度測(cè)量的需要，如小孔測(cè)量、深孔測(cè)量等。
•在各種型號(hào)中，還提供了易于操作的控制箱。控制箱與主機(jī)分離，可遙控執(zhí)行定位、開(kāi)始／停止測(cè)量、返回以及遠(yuǎn)程進(jìn)行其他操作。驅(qū)動(dòng)部的上／下位置和X軸的移動(dòng)都可手動(dòng)進(jìn)行微調(diào)。
技術(shù)參數(shù)X軸
測(cè)量范圍: 100mm或200mm
分辨率: 0.05µm
檢測(cè)方法:線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 80mm/s
測(cè)量速度: 0.02 - 5mm/s
移動(dòng)方向:向后
直線度: (0.05+1L/1000)µm* (0.5µm/200mm:測(cè)量范圍為200mm的型號(hào))
傾角范圍: ±45º Z2軸(立柱)
垂直移動(dòng): 300mm或500mm、動(dòng)力驅(qū)動(dòng)
分辨率: 1µm
檢測(cè)方法: ABSOLUTE線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 20mm/s
檢測(cè)器范圍
／分辨率: 800µm / 0.01µm, 80µm / 0.001µm,8µm / 0.0001µm (使用測(cè)頭選件時(shí)，最大可達(dá)2400µm)
檢測(cè)方法:無(wú)軌／有軌測(cè)量
測(cè)力: 4mN或0.75mN (低測(cè)力型)
測(cè)針針尖:金剛石、90º / 5µmR
(60º / 2µmR:低測(cè)力型)
導(dǎo)頭曲率半徑: 40mm
檢測(cè)方法:差動(dòng)電感式性能參數(shù)：

測(cè)量軟件功能: SURFPAK-SV
評(píng)估輪廓
P (主輪廓), R (表面粗糙度輪廓), WC, WCA, WE, WEA,
DIN4776輪廓、包絡(luò)殘余線、粗糙度motif、波形motif
評(píng)估參數(shù)
Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi),Sm, HSC, mr, δc, plateau ratio,mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Δa, Δq, λa, λq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1,A2
粗糙度motif參數(shù): Rx, R, AR, SR, SAR, NR, NCRX, CPM
波形motif參數(shù): Wte, Wx, W, AW SW, SAW, NW
分析圖表
ADC, BAC1, BAC2、功率譜圖、自相關(guān)圖、Walsh功率
譜圖、Walsh自相關(guān)圖、傾斜分布圖、局部峰值分布圖、
參數(shù)分布圖
濾波類型2CR-75%, 2CR-50%, 2CR-75% (相位校正),
2CR-50% (相位校正),高斯-50%
截止波長(zhǎng)*
λc: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
fl: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
fh: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm
取樣長(zhǎng)度(L)*
0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
取樣長(zhǎng)度
傾斜補(bǔ)償、R平面(曲面)補(bǔ)償、橢圓補(bǔ)償、拋物線補(bǔ)償、
雙曲線補(bǔ)償、二次曲線自動(dòng)補(bǔ)償、多項(xiàng)式補(bǔ)償、
多項(xiàng)式自動(dòng)補(bǔ)償
*可在0.025mm至最大移動(dòng)長(zhǎng)度間指定任意長(zhǎng)度。