型號：DZ2-IR

品牌：UNIOn

品名：紅外觀察測量顯微鏡

DZ2-IR是一款接收紅外波長的變焦視頻顯微鏡，具有較高的分辨率和放大倍率，可以觀察樣品內(nèi)部缺陷和結(jié)構(gòu)，在半導(dǎo)體封裝中應(yīng)該廣泛，如BGA，CSP和COF等…

它具有以下特點：

1.650μm~1200nm波長光學(xué)系統(tǒng)從可見光到近紅外范圍。

2.無極變倍放大倍率（1.5x~15x）或（5x~50x）。不需要更換物鏡，同時具有較高的工作記錄。

3.配置Uni-Measure測量軟件，進行大尺寸移動測量或微觀小尺寸測量。

4.配備表面和透射紅外光照明，能很好的應(yīng)用于半導(dǎo)體各種封裝內(nèi)部結(jié)構(gòu)的觀察。

設(shè)備簡介：

一、光源選擇

搭配表面和透射光源可觀察芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)：

二、鏡頭參數(shù)

三、工作距離

可方便的對樣品進行操作，具有較長的工作距離
低倍物鏡（1.5X - 15X）：W.D 46.2毫米

倍率物鏡（5X – 50X）：W.D 14毫米

 五、主要應(yīng)用

搭配GaAs紅外CCD觀察晶圓及芯片內(nèi)部缺陷

觀察BGA封裝焊球的位置

Wafer正面反面結(jié)構(gòu)位置偏移

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