DCM-40/60
雙視顯微鏡（適用于直徑達 4 英寸和 6 英寸的晶圓）
DCM-40/60是獨特的顯微鏡系統(tǒng)，將樣品（晶圓）的頂部和底部圖案疊加在顯微鏡的視野中，然后通過測量系統(tǒng)比較位移來測量位移長度。由于安裝在頂部和底部的物鏡有 5 種類型，總放大倍率從 50X 到 1000X，因此可以觀察各種標本。
| |
DCM-60 |
DCM-40 |
目標
（
由客戶選擇） |
| （總放大倍數(shù)） |
(50X) |
(100X) |
(200X) |
(400X) |
| 最佳 |
PLM5X |
PLM10X |
PLLWDM20X |
PLLWDM40X |
| 底部 |
PLM5X |
PLM10X |
PLLWDM20X |
PLLWDM40X |
|
| 目鏡 |
一對 SUW10X
（包括測微分劃板） |
一對 UW10X
（包括測微分劃板） |
| 總放大倍率 |
50X 至 400X（更大的放大倍數(shù)可根據(jù)定制訂單提供。） |
| 上物鏡行程 |
24mm |
30mm |
| 下物鏡行程 |
3 毫米 |
12mm |
| 篩選 |
頂部：綠色 / 底部：紅色 |
| 舞臺&柜臺 |
150 x 150mm 手動載物臺
KC-12R 計數(shù)器（1μm 讀數(shù)） |
50 x 50mm 手動載物臺，數(shù)字測微計（1μm 讀數(shù)） 100 x 100mm 手動載物臺，KC-12R 計數(shù)器（1μm 讀數(shù)） |
| 舞臺旅行 |
X：150mm Y：150mm |
X：50mm Y：50mm
X：100mm Y：100mm |
| 晶圓架 |
最大：6 英寸 |
最大：4 英寸 |
| 支架可以根據(jù)定制訂單提供特殊設計的形狀。 |
| 舞臺旋轉 |
360° |
| 照明 |
150W 鹵素光導照明 |
| 材料厚度 |
20mm以下 |
30mm以下 |
| 校準圖表類型 |
光軸校準校準圖
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