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日本Union-THS-10- 精密厚度測量-顯微鏡

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最后更新: 2023-01-18 08:46
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詳細說明
 日本Union精密厚度測量顯微鏡

型號:THS
品牌:日本UNIOn

厚度測量顯微鏡 原理:
THS是一款非接觸式的光學測量系統(tǒng)。它采用光學對焦檢測原理。THS采用上下兩套光學系統(tǒng),各配置單獨的光學對焦系統(tǒng),用于觀察工件的位置和形狀,測量厚度可達10mm。THS光學系統(tǒng),操作簡單,而且,裂像會清晰的顯示在顯示器中。
THS厚度測量原理是基于UNIOn獨特的光學測量原理。THS有上下兩套光學系統(tǒng),每個系統(tǒng)都有精密的對焦裝置,對焦裝置內有一個內置的裂像。


厚度測量顯微鏡 特點:
即使工作臺上沒有放置工件,顯示器上也會顯示裂像圖像,裂像圖像可通過上下光學系統(tǒng)簡單的辨別。
此設備通過上下兩個鏡頭對零件兩個面進行聚焦,以下鏡頭為基準,上鏡頭進行聚焦測量,從而測量出被測零件的厚度。不但精度可達1微米,而且采用Union光學株式會社專有的裂像輔助對焦系統(tǒng)可以的減少人為誤差從而達到精準測量。此設備測厚尺寸為25mm。



厚度測量顯微鏡 測量步驟

A、先將上下兩鏡頭在不加任何測量件的情況下同時聚焦,此時兩個清晰的裂像標記出現(xiàn)在顯示器上。然后,將Z軸數(shù)字計數(shù)器置零。(如圖)
B、將樣品放置在顯微鏡工作臺上, 然后移動下鏡頭聚焦于樣品的底部。(如圖)
C、當下鏡頭聚焦到測量零件表面后,再移動上鏡頭的調焦旋鈕。當裂像指示器清楚的聚焦在測量樣品表面時,此時讀數(shù)器上顯示的數(shù)值即為所測樣品的厚度 (如圖)
 
 



厚度測量顯微鏡 應用行業(yè):
測量范圍為0~10mm,因此應用范圍廣泛。

開罐器的測量:
可以量測開罐器的各個部分(score residual, etc.)




測量蓋子凹槽的深度(score residual, etc.)




Wafer減薄行業(yè)厚度測量、電池行業(yè)防爆彈片厚度測量等等


Union厚度測量顯微鏡與激光測量的區(qū)別

THS光學測量,不僅可以測量,
還可以觀察測量點的表面情況
 
 
激光測量,僅可以測量


技術規(guī)格:

 

型號

測量行程

精度

THS-10

X:100mm Y:100mm

1um(0.1um 可選配)

 
 


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