THS系列是基于光學(xué)式焦點檢測方法的非接觸式厚度/高度/深度測量系統(tǒng)，結(jié)合了頂部和底部兩個顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)，并帶有使用分度標(biāo)的精確焦點指示器。通過觀察測量點的表面可以測量最大25mm的厚度。由于采用了光學(xué)系統(tǒng)，操作簡單，并且在精確對焦條件下可以在監(jiān)視器上看到精確的對焦指示（目標(biāo)標(biāo)記）。
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公司基本資料信息
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THS-10
| 模型 | THS-10 | THS-20 | THS-206 | THS-208 |
| 測量方法 | 手動的 | 汽車 | ||
| 試樣尺寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8 英寸 | |
| 測量區(qū)域 | X:100mm Y:100mm |
X:150mm Y:150mm |
X:200mm Y:200mm |
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| 解析度 | 1微米 | 0.1微米 | ||
| 重復(fù)性 | - | 1σ=0.5µm（試塊規(guī)） | ||
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