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日本UNIOn THS-10 -20 厚度觀察測(cè)量顯微鏡

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THS-10

非接觸式測(cè)厚系統(tǒng)

 
THS系列是基于光學(xué)式焦點(diǎn)檢測(cè)方法的非接觸式厚度/高度/深度測(cè)量系統(tǒng),結(jié)合了頂部和底部?jī)蓚€(gè)顯微鏡光學(xué)系統(tǒng),并帶有使用分度標(biāo)的精確焦點(diǎn)指示器。通過(guò)觀察測(cè)量點(diǎn)的表面可以測(cè)量最大25mm的厚度。由于采用了光學(xué)系統(tǒng),操作簡(jiǎn)單,并且在精確對(duì)焦條件下可以在監(jiān)視器上看到精確的對(duì)焦指示(目標(biāo)標(biāo)記)。
模型 THS-10 THS-20 THS-206 THS-208
測(cè)量方法 手動(dòng)的 汽車(chē)
試樣尺寸 4英寸 6英寸 8 英寸
測(cè)量區(qū)域 X:100mm 
Y:100mm
X:150mm 
Y:150mm
X:200mm 
Y:200mm
解析度 1微米 0.1微米
重復(fù)性 - 1σ=0.5µm(試塊規(guī))


 

 

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