氬氣熱式氣體質(zhì)量流量
控制器AC-M100：中大流量規(guī)格熱式氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)的通訊方式多樣，可兼容：0-5V、4-20mA、RS485通訊模式，一鍵切換通訊信號，操作簡單方便。主要是測量30SLM到100SLM的熱式氣體質(zhì)量流量控制器或熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)，產(chǎn)品采用全數(shù)字架構(gòu)，新型的傳感制作工藝，更好的保證了產(chǎn)品的準(zhǔn)確度和靈敏性。
氬氣熱式氣體質(zhì)量流量控制器AC-M100：正常工作壓力范圍可達(dá)：10MPa（100Bar），供電方式為+14V—﹢27V的寬頻供電，能滿足市面上絕大多數(shù)用戶的使用要求和使用習(xí)慣。產(chǎn)品精度優(yōu)于±1%F.S，響應(yīng)速度優(yōu)于2秒且流量值穩(wěn)定速度也是極快的。閥體過流材質(zhì)均選用品質(zhì)良好的316L不銹鋼。
數(shù)字通訊的中大流量規(guī)格熱式氣體質(zhì)量
流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)，為滿足高端用戶對產(chǎn)品的要求，松盛測控的全系列熱式氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)均采用進(jìn)口產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定，產(chǎn)品可與進(jìn)口熱式氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)直接對標(biāo)。廣泛應(yīng)用于SPUTTER磁控濺射臺、等離子刻蝕、石油化工、高校實(shí)驗(yàn)室、科研單位、航空航天、光伏行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、真空鍍膜行業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、離子注入、精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。
