型號:5800 系列 品牌:AEORHC ◆ 數字型橡膠密封氣體質量流量控制器 ◆ 流量可覆蓋2sccm-300slm包含腐蝕性氣體(相對于N2) ◆ 兼容RS485和模擬通訊模式,通訊模式及協議 ◆ 精確性 ≤ ±0.25%F.S及多氣體多量程選擇 ◆ 快的響應時間及穩(wěn)定性 氬氣質量流量計 氬氣質量流量控制器